【求助】橢偏儀的工作原理

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橢偏儀這是干什么用的呀？

Yoo-hu

橢偏儀是一種用于測量薄膜厚度、光學常數(shù)以及材料微結構的非接觸式、非破壞性的光學測量設備。它通過分析偏振光在樣品表面反射或透射后偏振態(tài)的變化，獲得材料的物理和化學性質信息。

從測量原理來看，橢偏儀利用的是光的偏振特性。當一束線性偏振光入射到樣品表面并被反射時，由于不同材料的光學性質各異，反射光的偏振態(tài)會發(fā)生改變，形成橢圓偏振光。通過測量這些變化并結合適當?shù)奈锢砟Ｐ?，可以精確計算出薄膜的厚度、折射率、消光系數(shù)等參數(shù)。

橢偏儀的測量過程通常涉及將非偏振光轉化為線性偏振光，再通過特定光學系統(tǒng)使線性偏振光轉變?yōu)闄E圓偏振光，最后通過探測器測量反射光的偏振特性。這一過程需要多個組件協(xié)同工作，包括偏振片、光學系統(tǒng)、樣品反射裝置、探測器和計算機。

橢偏儀具有高精度、高靈敏度的特點，能夠測量薄至1納米的薄膜，且不需要破壞樣品即可進行多次測量。這使得它在許多領域得到廣泛應用，如半導體制造、數(shù)據(jù)存儲、光學鍍膜、平板顯示器以及生物醫(yī)學研究等。近年來，隨著科技的進步，橢偏儀在新興領域如鈣鈦礦太陽能電池的光管理、全自動橢偏分析系統(tǒng)開發(fā)等方面顯示出其獨特的應用價值。

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橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數(shù)以及材料微結構的光學測量設備。

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