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數(shù)字式質(zhì)量流量控制器

Alicat的MC系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可通過定制化的高速比例調(diào)節(jié)閥

精確測量與控制過程氣體的質(zhì)量流量體積流量和壓力，還可同時測量并顯示

氣體溫度

數(shù)字式質(zhì)量流量控制器內(nèi)部無可移動組件和熱元件通過抗振動測試

對安裝方向不敏感。美國ALICAT-MC系列質(zhì)量流量控制器提供總體的用戶支持，包括技術(shù)咨詢

快捷的設(shè)備校準(zhǔn)服務(wù)和質(zhì)保。

美國艾里卡特MC系列質(zhì)量流量控制器

標(biāo)準(zhǔn)精度0.8%RD+0.2%FS、高精度0.4%RD+0.2%FS

有效范圍0.5-

內(nèi)置90-130條氣體曲線可選

響應(yīng)速度100MS

多種數(shù)字信號可選

美國ALICAT-MC系列質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)

性能/參數(shù)	MC系列質(zhì)量流量控制器
流量范圍	0.5SCCM-5000SLPM 可自行修改流量單位如kg/h、g/min等
標(biāo)定氣體	內(nèi)置90條氣體可選擇
精度(調(diào)零后)	±(0.8%Rd+0.2%FS)
高精度(調(diào)零后)	±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM
重復(fù)性	±0.2%FS
漂移(零點/滿量程)	0.02% F.S/oC/Atm
工作范圍	0.5-
響應(yīng)時間	100毫秒(調(diào)整)
啟動預(yù)熱時間	1秒內(nèi)
標(biāo)準(zhǔn)工況	25oC & 14.696 psia，可自定義修改
工作溫度范圍	-10~-50℃(另有高溫訂制品)
工作濕度范圍	0-RH(非冷凝)
工作壓力	10Bar
安裝方向	任意
閥門狀態(tài)	常閉
材質(zhì)	SUS302303304不銹鋼、密封圈VITON
顯示屏	背光LCD顯示屏，同時顯示流量、壓力、溫度

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